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  • 湿法刻蚀设备

    应用于晶圆级封装,精确控制刻蚀
  • 电镀设备

    应用于化合物半导体制造
  • 湿法去胶设备

    应用于晶圆级封装 双管齐下的高效率清洗
  • 立式炉设备

    应用于LPCVD、氧化、退火和ALD
  • 无应力抛光设备

    应用于双大马士革和晶圆级封装
  • PECVD设备

    应用于逻辑和存储芯片制造
  • Post-CMP清洗设备

    应用于硅片和碳化硅衬底制造
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